Piezorezistivní technologie měření tlaku od švýcarské společnosti

Všestrannost izolované buňky pro měření tlaku.

Pro elektronické měření tlaku je nutný sensor, který zaznamenává měřený tlak a převádí jej na elektrický signál. Vzhledem k velkým výstupním signálům a zavedenému výrobnímu procesu a dlouholetým zkušenostem zvítězila piezorezistivní technologie v technologii měření tlaku.

Srdcem měření rezistivního tlaku je elektrický odpor, jehož hodnota se mění v závislosti na měřeném tlaku. Měřicí odpory jsou integrovány do membrány citlivé na tlak a jsou roztahovány (zvyšování elektrického odporu) nebo stlačovány (pokles elektrického odporu) v závislosti na intenzitě tlaku. Čím větší je tlak, tím více se membrána deformuje, takže rozsah změny odporu závisí přímo na tlaku.   Navíc u piezorezistivního rezistoru vede mechanické napětí, ke kterému dochází během expanze nebo komprese, také ke změně elektrické vodivosti. Tento piezorezistivní efekt je založen na vzájemných posunech atomových pozic, které mají přímý účinek na přenos elektrického náboje. Změna odporu vyplývající ze změny elektrické vodivosti může být výrazně větší než změna způsobená čistou deformací.

Základem piezorezistivního senzorového čipu je méně než jeden milimetr tenký krystalický křemíkový plátek, tzv. WAFER. V určitých bodech jsou na jeho povrch specificky vloženy cizí atomy. Tyto dotované oblasti v křemíku tvoří piezorezistivní odpory. V následujícím kroku je Wafer lokálně tak ztenčen, že se membrány tvoří přímo v křemíku. Pokud je membrána deformovaná, hodnota odporu se zvyšuje nebo snižuje v závislosti na poloze. Zadní strana křemíku je pak pevně spojena se sklem. Takto vznikne uzavřený referenční prostor pod vakuem pro absolutní snímače tlaku. Pro měření relativného tlaku je v zadní straně skla vyvrtán referenční otvor.

Efektivita nákladů díky vysoké výrobní kapacitě

Ve více než 35-ti specializovaných výrobních odděleních se s pomocí nejnovějších automatizovaných výrobních procesů vyrábí velkoobjemové série průmyslových převodníků OEM ale také speciální provedení ve velmi malém množství. Takto se každý rok vyrobí více než milion snímačů tlaku a tlakových převodníků. Navzdory složitým výrobním postupům a přísným požadavkům na kvalitu nám vysoký objem výroby umožňuje udržet výrobu v našem závodě ve Švýcarsku nákladově efektivní.

 

Řešení na míru

Naše výrobky mají modulární design a mnoho jejich prvků je vyráběno interně. To znamená, že i pro malé výrobní série můžeme udělat pár vylepšení pro naše zákazníky, aniž by nám vzvnikly vysoké náklady. Všechny naše výrobky jsou k dispozici v různých výrobních fázích a nabízejí zákazníkům OEM vynikající flexibilitu. Některé aplikace vyžadují nový vývoj produktů, které jsou přesně přizpůsobeny zamýšlené funkci a místu kde, mají být zařízení používány.