生产于瑞士的压阻式压力测量技术

隔离式测压元件的应用广泛性

电子压力测量是指使用 传感器测量的压力并将其转换为电信号进行记录的过程。由于大的输出信号和完备的制造工艺，以及多年积累的经验， 压阻技术已在压力测量领域成为一种通用的技术。

电阻式压力测量以电阻变化作为测量依据，电阻值随待测压力的变化而变化。测量电阻元件集成在压敏器件中，根据压力变化，它们要么拉伸（电阻增大），要么压缩（电阻减小）。压力越大，膜片变形越大，这意味着电阻变化的程度直接取决于压力。此外，在压阻电阻器中，拉伸或压缩时产生的机械张力也会导致导电性的变化。这种压阻效应基于原子位置的位移，直接影响电荷传输。导电性变化引起的电阻变化可能比纯变形引起的电阻变化要大得多。

压阻式传感器硅片的基础是厚度小于1毫米的晶体硅圆盘，称为晶圆。在晶圆表面的某些特定点会注入一些其他原子。硅中的这些掺杂区域形成压阻电阻器。在随后的步骤中，然后以直接在硅中形成膜片的方式在局部基础上对晶圆进行减薄。如果膜片变形，则电阻值会根据布放位置的不同增加或减少。之后，硅的背面牢固地键合到玻璃上。对于绝对压力传感器，玻璃与硅片之间会形成一个密封的真空区域作为参考侧。测量相对压力时，玻璃后方会开一个参考压力孔。

为了将传感器芯片与待测介质隔离，传感器芯片安装在一个压力密封的金属外壳中，该外壳充满油，前端用薄膜片密封。然后，压力通过该膜片和作为传输介质的硅油作用于传感器芯片。

通过高产能实现成本效益

在超过35个高度专业化的生产岛上，最新的自动化生产工艺用于制造大系列工业OEM传感器和小批量特殊设计。每年生产超过一百万个压力传感器和压力变送器。尽管我们有复杂的生产流程和严格的质量要求，但大批量的生产使我们能够在瑞士的生产基地保持成本效益。

测量的解决方案

我们的产品采用模块化设计，许多元件都是内部制造的。这意味着，即使是小批量生产，我们也可以为客户做一些调整，而不会产生高昂的成本。

我们的所有产品都有不同的阶段展开版本可供选择，并为OEM客户提供卓越的灵活性。一些应用需要新产品的开发，这些新产品的开发完全符合设备的预期功能和应用环境。